Мэдээлэл, оптоэлектроникийн салбарын хурдацтай хөгжил нь химийн механик өнгөлгөөний (CMP) технологийг тасралтгүй шинэчлэхэд түлхэц болсон.Тоног төхөөрөмж, материалаас гадна хэт өндөр нарийвчлалтай гадаргууг олж авах нь өндөр үр ашигтай зүлгүүрийн тоосонцорыг дизайн, үйлдвэрлэлийн аргаар үйлдвэрлэх, түүнчлэн тохирох өнгөлгөөний зутан бэлтгэхээс ихээхэн хамаардаг.Гадаргуугийн боловсруулалтын нарийвчлал, үр ашгийн шаардлагыг тасралтгүй сайжруулснаар өндөр үр ашигтай өнгөлгөөний материалд тавигдах шаардлага улам бүр нэмэгдсээр байна.Церийн давхар ислийг микроэлектроник төхөөрөмж болон нарийн оптик эд ангиудын гадаргуугийн нарийн боловсруулалтад өргөн ашигладаг.
Церийн ислийн өнгөлгөөний нунтаг (VK-Ce01) өнгөлгөөний нунтаг нь зүсэх чадвар сайтай, өнгөлгөөний өндөр үр ашигтай, өнгөлгөөний өндөр нарийвчлалтай, өнгөлгөөний чанар сайтай, үйл ажиллагааны орчин цэвэр, бохирдол багатай, удаан эдэлгээтэй гэх мэт давуу талтай бөгөөд өргөн хэрэглэгддэг. оптик нарийвчлалтай өнгөлөх, CMP гэх мэт талбар нь маш чухал байр суурийг эзэлдэг.
Цэрийн ислийн үндсэн шинж чанарууд:
Цэрийн исэл гэж нэрлэгддэг цери нь церийн исэл юм.Энэ үед церийн валент нь +4, химийн томъёо нь CeO2 байна.Цэвэр бүтээгдэхүүн нь цагаан хүнд нунтаг эсвэл куб талст, цэвэр бус бүтээгдэхүүн нь цайвар шар эсвэл бүр ягаанаас улаан хүрэн нунтаг (учир нь энэ нь лантан, празеодим гэх мэт бага хэмжээгээр агуулагддаг).Өрөөний температур ба даралтанд цери нь цериумын тогтвортой исэл юм.Цэрий нь +3 валентын Ce2O3 үүсгэж чаддаг бөгөөд энэ нь тогтворгүй бөгөөд O2-тэй тогтвортой CeO2 үүсгэдэг.Цэрийн исэл нь ус, шүлт, хүчилд бага зэрэг уусдаг.Нягт нь 7.132 г/см3, хайлах цэг нь 2600℃, буцлах цэг нь 3500℃ байна.
Церийн ислийг өнгөлөх механизм
CeO2 хэсгүүдийн хатуулаг өндөр биш юм.Доорх хүснэгтээс харахад церийн ислийн хатуулаг нь алмаз, хөнгөн цагааны исэлээс хамаагүй бага, мөн төмрийн исэлтэй тэнцэх цирконы исэл, цахиурын ислийн хатуулагаас бага байна.Иймээс силикат шил, кварцын шил гэх мэт цахиурын исэлд суурилсан материалыг зөвхөн механик талаасаа хатуулаг багатай цериагаар цэвэрлэх нь техникийн хувьд боломжгүй юм.Гэсэн хэдий ч одоогоор церийн исэл нь цахиурын исэлд суурилсан материал эсвэл бүр цахиурын нитридын материалыг өнгөлөхөд илүүд үздэг өнгөлгөөний нунтаг юм.Церийн оксидын өнгөлгөө нь механик нөлөөллөөс гадна өөр нөлөө үзүүлдэг болохыг харж болно.Түгээмэл хэрэглэгддэг нунтаглах, өнгөлөх материал болох алмазын хатуулаг нь ихэвчлэн CeO2 торонд хүчилтөрөгчийн сул орон зайтай байдаг бөгөөд энэ нь түүний физик, химийн шинж чанарыг өөрчилдөг бөгөөд өнгөлгөөний шинж чанарт тодорхой нөлөө үзүүлдэг.Түгээмэл хэрэглэгддэг церийн ислийн өнгөлгөөний нунтаг нь бусад газрын ховор оксидыг тодорхой хэмжээгээр агуулдаг.Празодим исэл (Pr6O11) нь мөн нүүр төвтэй куб тор бүтэцтэй бөгөөд өнгөлгөө хийхэд тохиромжтой, харин бусад лантанидын газрын ховор оксид өнгөлөх чадваргүй байдаг.CeO2-ийн болор бүтцийг өөрчлөхгүйгээр тодорхой хязгаарт хатуу уусмал үүсгэж болно.Өндөр цэвэршилттэй нано-церийн ислийн өнгөлгөөний нунтаг (VK-Ce01)-ийн хувьд церийн ислийн (VK-Ce01) цэвэршилт өндөр байх тусам өнгөлгөөний чадвар өндөр, ашиглалтын хугацаа урт болно, ялангуяа хатуу шил, кварцын оптик линзний хувьд урт хугацаа.Цикл өнгөлгөөний үед өндөр цэвэршилттэй церийн ислийн өнгөлгөөний нунтаг (VK-Ce01) хэрэглэх нь зүйтэй.
Церийн ислийн өнгөлгөөний нунтаг хэрэглэх:
Церийн ислийн өнгөлгөөний нунтаг (VK-Ce01) нь шилэн эдлэлийг өнгөлөхөд голчлон хэрэглэгддэг бөгөөд дараахь салбарт ашиглагддаг.
1. Нүдний шил, шилний линз өнгөлөх;
2. Оптик линз, оптик шил, линз гэх мэт;
3. Гар утасны дэлгэцийн шил, цагны гадаргуу (цагны хаалга) гэх мэт;
4. Бүх төрлийн LCD дэлгэц LCD дэлгэц;
5. Rhinestones, халуун очир алмааз (карт, жинсэн өмд дээрх алмааз), гэрэлтүүлгийн бөмбөг (том танхимд тансаг лааны суурь);
6. Болор гар урлал;
7. Хаш чулууг хэсэгчлэн өнгөлөх
Одоогийн байгаа церийн ислийн өнгөлгөөний деривативууд:
Оптик шилний өнгөлгөөг мэдэгдэхүйц сайжруулахын тулд церийн ислийн гадаргууг хөнгөн цагаанаар дүүргэсэн.
UrbanMines Tech компанийн Технологийн судалгаа, хөгжлийн хэлтэс.Хязгаарлагдмал, өнгөлгөөний тоосонцорыг нэгтгэх, гадаргууг өөрчлөх нь CMP өнгөлгөөний үр ашиг, нарийвчлалыг сайжруулах үндсэн арга, арга барил гэдгийг санал болгосон.Учир нь бөөмийн шинж чанарыг олон бүрэлдэхүүн хэсэгтэй элементүүдийг нэгтгэснээр тохируулах боломжтой бөгөөд өнгөлгөөний зутангийн тархалтын тогтвортой байдал, өнгөлгөөний үр ашгийг гадаргуугийн өөрчлөлтөөр сайжруулж болно.TiO2 агуулсан CeO2 нунтаг бэлтгэх, өнгөлөх чадвар нь өнгөлгөөний үр ашгийг 50% -иас дээш сайжруулж, үүний зэрэгцээ гадаргуугийн согогийг 80% -иар бууруулдаг.CeO2 ZrO2 ба SiO2 2CeO2 нийлмэл ислийн синергетик өнгөлгөөний нөлөө;Тиймээс шинэ өнгөлгөөний материалыг боловсруулах, өнгөлөх механизмын талаар хэлэлцэхэд допингтой цериа микро-нано нийлмэл ислийг бэлтгэх технологи маш чухал юм.Допингийн хэмжээнээс гадна нийлэгжүүлсэн тоосонцор дахь нэмэлт бодисын төлөв байдал, тархалт нь тэдгээрийн гадаргуугийн шинж чанар, өнгөлгөөний гүйцэтгэлд ихээхэн нөлөөлдөг.
Тэдгээрийн дотроос бүрээсийн бүтэцтэй өнгөлгөөний тоосонцорыг нэгтгэх нь илүү сонирхолтой байдаг.Тиймээс синтетик арга, нөхцлийг сонгох нь маш чухал бөгөөд ялангуяа энгийн бөгөөд хэмнэлттэй аргууд юм.Гидратжуулсан церийн карбонатыг үндсэн түүхий эд болгон ашиглан хөнгөн цагааны хольцтой церийн ислийн өнгөлгөөний тоосонцорыг нойтон хатуу фазын механик химийн аргаар нийлэгжүүлсэн.Механик хүчний үйлчлэлээр гидратжуулсан церийн карбонатын том тоосонцор нь нарийн ширхэгтэй хэсгүүдэд хуваагддаг бол хөнгөн цагаан нитрат нь аммиактай устай урвалд орж аморф коллоид хэсгүүдийг үүсгэдэг.Коллоид хэсгүүд нь церийн карбонатын хэсгүүдэд амархан наалддаг бөгөөд хатаж, шохойжуулсны дараа церийн ислийн гадаргуу дээр хөнгөн цагааны допинг хийж болно.Энэ аргыг янз бүрийн хэмжээний хөнгөн цагааны допинг бүхий церийн ислийн тоосонцорыг нэгтгэхэд ашигласан бөгөөд тэдгээрийн өнгөлгөөний гүйцэтгэлийг тодорхойлсон.Церийн ислийн хэсгүүдийн гадаргуу дээр зохих хэмжээний хөнгөн цагаан нэмсэний дараа гадаргуугийн потенциалын сөрөг утга нэмэгдэж, улмаар зүлгүүрийн хэсгүүдийн хоорондын зай үүсэх болно.Илүү хүчтэй электростатик түлхэлт байдаг бөгөөд энэ нь зүлгүүрийн суспензийн тогтвортой байдлыг сайжруулахад тусалдаг.Үүний зэрэгцээ зүлгүүрийн тоосонцор ба эерэг цэнэгтэй зөөлөн давхаргын Кулон таталцлаар дамжин харилцан шингээлт нь бэхжих бөгөөд энэ нь өнгөлсөн шилний гадаргуу дээрх зүлгүүр ба зөөлөн давхаргын хооронд харилцан үйлчлэхэд тустай. өнгөлгөөний хурдыг сайжруулах.